如何在SEM下調(diào)整束斑直徑
如何在SEM下調(diào)整束斑直徑
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描述SEM中電子束性質(zhì)的四個主要參數(shù)如圖1所示:
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使電子在電鏡腔室中運動的加速電壓
電子束的會聚角
轟擊樣品的電子束流大小
到達樣品表面的zui終束斑直徑。
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