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如何在SEM下調(diào)整束斑直徑

2018.8.22

如何在SEM下調(diào)整束斑直徑

?

描述SEM中電子束性質(zhì)的四個主要參數(shù)如圖1所示:

?

  1. 使電子在電鏡腔室中運動的加速電壓

  2. 電子束的會聚角

  3. 轟擊樣品的電子束流大小

  4. 到達樣品表面的zui終束斑直徑。


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