橢圓偏光法涉及橢圓偏振光在材料表面的反射。為表征反射光的特性，可分成兩個(gè)分量：P和S偏振態(tài)，P分量是指平行于入射面的線性偏振光，S分量是指垂直于入射面的線性偏振光。菲涅耳反射系數(shù)r描述了在一個(gè)界面入射光線的反射。P和S偏振態(tài)分量各自的菲涅耳反射系數(shù)r是各自的反射波振幅與入射波振幅的比值。大多情況下會(huì)有多個(gè)界面，回到最初入射媒介的光經(jīng)過了多次反射和透射?？偟姆瓷湎禂?shù)Rp和Rs，由每個(gè)界面的菲涅耳反射系數(shù)決定。Rp和Rs定義為最終的反射波振幅與入射波振幅的比值。

　　是一種非接觸式、非破壞性的薄膜厚度、光學(xué)特性檢測(cè)技術(shù)。橢偏法測(cè)量的是電磁光波斜射入表面或兩種介質(zhì)的界面時(shí)偏振態(tài)的變化。橢偏法只測(cè)量電磁光波的電場(chǎng)分量來確定偏振態(tài)，因?yàn)楣馀c材料相互作用時(shí)，電場(chǎng)對(duì)電子的作用遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于磁場(chǎng)的作用。

　　折射率和消光系數(shù)是表征材料光學(xué)特性的物理量，折射率是真空中的光速與材料中光的傳播速度的比值N=C/V；消光系數(shù)表征材料對(duì)光的吸收，對(duì)于透明的介電材料如二氧化硅，光完全不吸收，消光系數(shù)為0。N和K都是波長(zhǎng)的函數(shù)，但與入射角度無關(guān)。

　　橢偏法通過測(cè)量偏振態(tài)的變化，結(jié)合一系列的方程和材料薄膜模型，可以計(jì)算出薄膜的厚度T、折射率N和吸收率（消光系數(shù)）K。