ISO 11952:2014
表面化學分析. 掃描探針顯微鏡. 使用SPM測定幾何量:測量系統(tǒng)校準

Surface chemical analysis - Scanning-probe microscopy - Determination of geometric quantities using SPM: Calibration of measuring systems

被代替

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標準號

ISO 11952:2014

發(fā)布

2014年

總頁數(shù)

66頁

發(fā)布單位

國際標準化組織

替代標準

ISO 11952:2019

當前最新

ISO 11952:2019

 

 

引用標準

IEC/TS 62622:2012 ISO 11039:2012 ISO 12179:2000 ISO 12853:1997 ISO 18115-2:2013 ISO 3274:1996 ISO 4287:1997 ISO 4288:1996 ISO 5436-1:2000 ISO Guide 30:1992 ISO Guide 34:2009 ISO/IEC Guide 98-3:2008

適用范圍

本國際標準規(guī)定了在最高水平上測量幾何量時表征和校準掃描探針顯微鏡掃描軸的方法。它適用于提供進一步校準的人，并不適用于可能需要較低水平校準的一般工業(yè)用途。本國際標準具有以下目標：——通過對長度單位的可追溯性，提高使用掃描探針顯微鏡進行的幾何量測量的可比性；——定義校準過程的最低要求和驗收條件；——確定儀器的校準能力（為儀器分配“校準能力”類別）；——定義校準范圍（測量條件和環(huán)境、測量范圍、時間穩(wěn)定性、可轉(zhuǎn)移性）；——根據(jù) ISO/IEC 指南 98-3 提供一個模型，用于計算使用掃描探針顯微鏡測量的簡單幾何量的不確定度；——定義報告結(jié)果的要求。

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專題

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