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ASTM F50-07
用可探測單個亞微米及較大粒子的儀器在灰塵控制區(qū)域和無菌室中連續(xù)測定空氣中粒子的大小及計數用標準實施規(guī)程

Standard Practice for Continuous Sizing and Counting of Airborne Particles in Dust-Controlled Areas and Clean Rooms Using Instruments Capable of Detecting Single Sub-Micrometre and Larger Particles


標準號
ASTM F50-07
發(fā)布
2007年
發(fā)布單位
美國材料與試驗協(xié)會
替代標準
ASTM F50-12
當前最新
ASTM F50-21
 
 
適用范圍
1.1 本實踐涵蓋了灰塵控制區(qū)域和潔凈室中空氣中顆粒濃度(按數量)和尺寸分布的測定,顆粒尺寸范圍約為 0.01 至 5.0 m。顆粒濃度不超過 3.5 106 顆粒/m3 (100 000/ft 3) 涵蓋等于和大于測量的最小尺寸的所有顆粒。
1.2 本實踐使用空氣傳播的單顆粒計數裝置 (SPC),其操作基于測量單個顆粒通過傳感區(qū)域產生的信號。信號必須與顆粒尺寸直接或間接相關。注1:此處未指定SPC類型。 SPC 可以是傳統(tǒng)的光學粒子計數器 (OPC)、空氣動力學粒子測定器、與擴散電池或微分遷移率分析儀結合運行的凝聚核計數器 (CNC),或任何其他能夠對粒子中的單個粒子進行計數和大小測定的設備。關注的尺寸范圍和潔凈室環(huán)境中的采樣。
1.3 根據本實踐進行測試的個人應接受 SPC 使用培訓,并應了解其操作。
1.4 由于空氣中顆粒的濃度和粒徑分布受連續(xù)變化,采樣探頭配置、位置和采樣時間的選擇都會影響采樣結果。此外,不同 SPC 之間的物理測量、電子和樣品處理系統(tǒng)的差異以及被測量的各種顆粒的物理特性的差異可能會導致測試結果的變化。應通過使用主要校準的標準方法并盡量減少樣品采集程序的可變性來認識并盡量減少這些差異。
1.5 可以根據不同的潔凈室等級級別為特定應用選擇樣品采集程序和設備。對這些選擇的嚴格要求超出了本實踐的范圍;然而,取樣方法應考慮到潔凈室中懸浮顆粒的潛在空間和統(tǒng)計變化。潔凈室分類的一般參考遵循最新修訂的聯(lián)邦標準 209E。如果要在不符合這些分類的粉塵控制區(qū)域中描述空氣中顆粒的特征,則應使用這些區(qū)域相關規(guī)范的最新修訂版。本標準并不旨在解決所有相關的安全問題(如果有)及其使用。本標準的使用者有責任在使用前建立適當的安全和健康實踐并確定監(jiān)管限制的適用性。有關具體危險說明,請參閱第 8 節(jié)。

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