DIN 50452-1:1995-11
半導體技術材料的測試 - 液體中顆粒分析的測試方法 - 第 1 部分：顆粒的顯微測定

Testing of materials for semiconductor technology - Test method for particle analysis in liquids - Part 1: Microscopic determination of particles

標準號

DIN 50452-1:1995-11

發(fā)布

1995年

發(fā)布單位

德國標準化學會

當前最新

DIN 50452-1:1995-11

 

 

介紹

該標準描述了在液體環(huán)境中對半導體技術材料中顆粒進行分析的方法，具體規(guī)定了采用顯微鏡技術測量和鑒定顆粒的程序。這一方法適用于研究與生產過程中的質量控制以及評估原材料、中間產品和成品中的污染物水平。

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專題

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