術(shù)語(yǔ) | 描述 |
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錨 anchor | 支持MEMS功能結(jié)構(gòu)的硅-玻璃粘接區(qū)域 |
探針臺(tái) | 用于放置測(cè)試結(jié)構(gòu)并進(jìn)行加載的設(shè)備 |
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