壓力傳感器的種類繁多,如電阻應(yīng)變片壓力傳感器、半導(dǎo)體應(yīng)變片壓力傳感器、壓阻式壓力傳感器、電感式壓力傳感器、電容式壓力傳感器、諧振式壓力傳感器等。目前應(yīng)用較為廣泛的壓力傳感器有:擴散硅壓阻式壓力傳感器、陶瓷壓阻壓力傳感器、濺射薄膜壓力傳感器、電容壓力傳感器、耐高溫特性的藍寶石壓力傳感器。但應(yīng)用最為廣泛的是壓阻式壓力傳感器,它具有極低的價格和較高的精度以及較好的線性特性。...
壓阻式壓力傳感器是利用半導(dǎo)體材料硅在受壓后,電阻率改變與所受壓力有一定關(guān)系的原理制做的。用集成電路工藝在單晶硅膜片的特定晶向上擴散一組等值應(yīng)變電阻,將電阻接成電橋形式。當壓力發(fā)生變化時,單晶硅產(chǎn)生應(yīng)變,應(yīng)變使電阻值發(fā)生與被測壓力成比例的變化,電橋失去平衡,輸出一電壓信號至顯示儀表顯示...
壓阻式壓力傳感器工作原理是用ISO技術(shù)將半導(dǎo)體材料的敏感芯片封裝在不銹鋼波紋膜片的殼體中,在不銹鋼波紋膜片和芯片之間充有硅油。 用ISO技術(shù)將半導(dǎo)體材料的敏感芯片封裝在不銹鋼波紋膜片的殼體中,在不銹鋼波紋膜片和芯片之間充有硅油。芯片引線穿過殼體引出并采用密封措施,防止硅油向外泄露或外面的壓力...
當力作用于硅晶體時,晶體的晶格產(chǎn)生變形,使載流子從一個能谷向另一個能谷散射,引起載流子的遷移率發(fā)生變化,擾動了載流子縱向和橫向的平均量,從而使硅的電阻率發(fā)生變化。這種變化隨晶體的取向不同而異,因此硅的壓阻效應(yīng)與晶體的取向有關(guān)。硅的壓阻效應(yīng)不同于金屬應(yīng)變計(見電阻應(yīng)變計),前者電阻隨壓力的變化主要...
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