隨著微電子技術(shù)的發(fā)展，XPS也在不斷完善，目前，已開(kāi)發(fā)出的小面積X射線光電子能譜，大大提高了XPS的空間分辨能力。通過(guò)對(duì)樣品進(jìn)行全掃描，在一次測(cè)定中即可檢測(cè)出全部或大部分元素。因此，XPS已發(fā)展成為具有表面元素分析、化學(xué)態(tài)和能帶結(jié)構(gòu)分析以及微區(qū)化學(xué)態(tài)成像分析等功能強(qiáng)大的表面分析儀器。X射線光電子能譜的理論依據(jù)就是愛(ài)因斯坦的光電子發(fā)散公式。...
隨著微電子技術(shù)的發(fā)展，XPS也在不斷完善，目前，已開(kāi)發(fā)出的小面積X射線光電子能譜，大大提高了XPS的空間分辨能力。通過(guò)對(duì)樣品進(jìn)行全掃描，在一次測(cè)定中即可檢測(cè)出全部或大部分元素。因此，XPS已發(fā)展成為具有表面元素分析、化學(xué)態(tài)和能帶結(jié)構(gòu)分析以及微區(qū)化學(xué)態(tài)成像分析等功能強(qiáng)大的表面分析儀器。X射線光電子能譜的理論依據(jù)就是愛(ài)因斯坦的光電子發(fā)散公式。...
技術(shù)指標(biāo) X射線光電子能譜（XPS），可使用單色化Al靶X射線源及雙陽(yáng)極Al/Mg靶X射線源，包括大面積XPS（0.8×2 mm），微區(qū)XPS（最小選區(qū)15 μm）、深度剖析XPS及XPS成像，空間分辨率＜3 μm；場(chǎng)發(fā)射俄歇電子能譜（AES），包括深度剖析AES；掃描俄歇顯微成像（SAM）；紫外光電子能譜（UPS）等?！ ≈饕δ堋 ≈饕糜诠腆w樣品表面的組成、化學(xué)狀態(tài)分析。...
原子中的內(nèi)層電子或價(jià)電子吸收能量足夠大的光子后，會(huì)離開(kāi)原子成為光電子，根據(jù)測(cè)定發(fā)射出來(lái)的光電子的特征能量，可定性地確定樣品表面上存在的元素，把未知樣品光電子能譜和已知的表面組分標(biāo)準(zhǔn)樣品的光電子能譜進(jìn)行對(duì)比，或者和一系列相應(yīng)的純?cè)?em>光電子能譜進(jìn)行對(duì)比，即可對(duì)樣品表面的組分進(jìn)行定量成分分析。2、俄歇電子能譜高速電子打到材料表面，除產(chǎn)生X射線外，還會(huì)激發(fā)出俄歇電子等。...
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