ISO 11952:2019
表面化學(xué)分析.掃描探針顯微鏡.用SPM測(cè)定幾何量:測(cè)量系統(tǒng)的校準(zhǔn)

Surface chemical analysis — Scanning-probe microscopy — Determination of geometric quantities using SPM: Calibration of measuring systems

適用范圍: 本文件規(guī)定了用于在最高水平上測(cè)量幾何量的掃描探針顯微鏡（SPM）掃描軸的特性化和校準(zhǔn)方法。它適用于提供進(jìn)一步校準(zhǔn)的人，并不適用于可能需要較低水平校準(zhǔn)的一般工業(yè)用途。本文件具有以下目標(biāo)：——通過(guò)追溯到長(zhǎng)度單位，提高使用 SPM 進(jìn)行的幾何量測(cè)量的可比性；——定義校準(zhǔn)過(guò)程的最低要求和驗(yàn)收條件；——確定儀器的校準(zhǔn)能力（為儀器分配“校準(zhǔn)能力”類(lèi)別）；——定義校準(zhǔn)范圍（測(cè)量條件和環(huán)境、測(cè)量范圍、時(shí)間穩(wěn)定性、可轉(zhuǎn)移性）；——根據(jù) ISO/IEC 指南 98-3 提供一個(gè)模型，用于計(jì)算使用 SPM 進(jìn)行測(cè)量時(shí)簡(jiǎn)單幾何量的不確定度；——定義報(bào)告結(jié)果的要求。

術(shù)語(yǔ)	描述
scanner bow scanner bow	當(dāng)掃描儀在x-y方向上移動(dòng)時(shí)z軸的附加偏轉(zhuǎn)。
look-up table look-up table	一種表格，其中存儲(chǔ)了不同操作模式下的校正因子（例如，掃描范圍、掃描速度、偏轉(zhuǎn)）。
step height step height	原子表面上相鄰晶平面之間的距離。

z掃描儀	用于實(shí)現(xiàn)標(biāo)本/探針距離在垂直方向上的跟蹤，以確保物理交互作用的距離控制。
位置探測(cè)器	將探針的交互響應(yīng)（如彎曲或懸臂梁的振蕩）轉(zhuǎn)換為電信號(hào)的裝置。