ISO 11952:2019
表面化學(xué)分析.掃描探針顯微鏡.用SPM測(cè)定幾何量:測(cè)量系統(tǒng)的校準(zhǔn)

Surface chemical analysis — Scanning-probe microscopy — Determination of geometric quantities using SPM: Calibration of measuring systems

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標(biāo)準(zhǔn)號(hào): ISO 11952:2019
發(fā)布: 2019年
總頁數(shù): 70頁
發(fā)布單位: 國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)化組織
當(dāng)前最新: ISO 11952:2019

引用標(biāo)準(zhǔn): ISO 11039 ISO 18115-2 ISO/IEC Guide 98-3

本文件規(guī)定了用于在最高水平上測(cè)量幾何量的掃描探針顯微鏡（SPM）掃描軸的特性化和校準(zhǔn)方法。它適用于提供進(jìn)一步校準(zhǔn)的人，并不適用于可能需要較低水平校準(zhǔn)的一般工業(yè)用途。本文件具有以下目標(biāo)：——通過追溯到長(zhǎng)度單位，提高使用 SPM 進(jìn)行的幾何量測(cè)量的可比性；——定義校準(zhǔn)過程的最低要求和驗(yàn)收條件；——確定儀器的校準(zhǔn)能力（為儀器分配“校準(zhǔn)能力”類別）；——定義校準(zhǔn)范圍...

術(shù)語
scanner bow	scanner bow
look-up table	look-up table
step height	step height

ISO 11952:2019 中提到的儀器設(shè)備

位置探測(cè)器	將探針的交互響應(yīng)（如彎曲或懸臂梁的振蕩）轉(zhuǎn)換為電信號(hào)的裝置。
z掃描儀	用于實(shí)現(xiàn)標(biāo)本/探針距離在垂直方向上的跟蹤，以確保物理交互作用的距離控制。

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ISO 11952:2019表面化學(xué)分析.掃描探針顯微鏡.用SPM測(cè)定幾何量:測(cè)量系統(tǒng)的校準(zhǔn)

Surface chemical analysis — Scanning-probe microscopy — Determination of geometric quantities using SPM: Calibration of measuring systems

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