X射線光電子能譜分析(X-ray photoelectron spectroscopy, XPS)是用X射線去輻射樣品，使原子或分子的內(nèi)層電子或價電子受激發(fā)射出來。被光子激發(fā)出來的電子稱為光電子，可以測量光電子的能量，以光電子的動能為橫坐標(biāo)，相對強(qiáng)度(脈沖/s)為縱坐標(biāo)可做出光電子能譜圖，從而獲得待測物組成。XPS主要應(yīng)用是測定電子的結(jié)合能來實(shí)現(xiàn)對表面元素的定性分析，包括價態(tài)。...
與WDS(Wave?Dispersive?Spectrometer)波普儀相比具有以下優(yōu)缺點(diǎn)：?優(yōu)點(diǎn):??（1）能譜儀探測X射線的效率高。 ??（2）在同一時間對分析點(diǎn)內(nèi)所有元素X射線光子的能量進(jìn)行測定和計數(shù)， ?????在幾分鐘內(nèi)可得到定性分析結(jié)果，而波譜儀只能逐個測量每種元素特征波長。 ??（3）結(jié)構(gòu)簡單，穩(wěn)定性和重現(xiàn)性都很好 ??（4）不必聚焦，對樣品表面無特殊要求，適于粗糙表面分析。?...
（1）固體表面的激發(fā)與檢測 X射線光電子能譜（XPS）：激發(fā)源為X射線，用X射線作用于樣品表面，產(chǎn)生光電子。通過分析光電子的能量分布得到光電子能譜。用于研究樣品表面組成和結(jié)構(gòu)。又稱為化學(xué)分析光電子能譜法（ESCA）。 紫外光電子能譜（UPS）：激發(fā)源為紫外光，只能激發(fā)原子的價電子，用于量子化學(xué)研究。 俄歇電子能譜(AES)：激發(fā)源為電子束，用于表面成分的快速分析?！ ?..
（1）固體表面的激發(fā)與檢測 X射線光電子能譜（XPS）：激發(fā)源為X射線，用X射線作用于樣品表面，產(chǎn)生光電子。通過分析光電子的能量分布得到光電子能譜。用于研究樣品表面組成和結(jié)構(gòu)。又稱為化學(xué)分析光電子能譜法（ESCA）。 紫外光電子能譜（UPS）：激發(fā)源為紫外光，只能激發(fā)原子的價電子，用于量子化學(xué)研究。 俄歇電子能譜(AES)：激發(fā)源為電子束，用于表面成分的快速分析。 ...
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