BS ISO 22278:2020
精細(xì)陶瓷（先進(jìn)陶瓷、先進(jìn)技術(shù)陶瓷） 采用平行X射線束X射線衍射法測定單晶薄膜（晶片）結(jié)晶質(zhì)量的測試方法
Fine ceramics (advanced ceramics, advanced technical ceramics). Test method for crystalline quality of single-crystal thin film (wafer) using XRD method with parallel X-ray beam
- 標(biāo)準(zhǔn)號(hào)
- BS ISO 22278:2020
- 發(fā)布
- 2020年
- 總頁數(shù)
- 38頁
- 發(fā)布單位
- 英國標(biāo)準(zhǔn)學(xué)會(huì)
- 當(dāng)前最新
- BS ISO 22278:2020
- 適用范圍
- ISO 22278 是什么？ ISO 22278 規(guī)定了使用平行 X 射線束 XRD 方法測量單晶薄膜（晶圓）晶體質(zhì)量的測試方法。 ISO 22278適用于所有作為塊體或外延層結(jié)構(gòu)的單晶薄膜（晶圓）。 ISO 22278 適合誰？關(guān)于單晶薄膜晶體質(zhì)量的 ISO 22278 適用于： 陶瓷制造商 機(jī)械工程師
BS ISO 22278:2020 中可能用到的儀器設(shè)備
專題
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