基于白光干涉儀的3D光學(xué)表面輪廓儀被用于可視化我們基板的表面形態(tài)和粗糙度。該輪廓儀還被用于表征尺寸從0.5微米到100微米范圍內(nèi)的表面缺陷和其他結(jié)構(gòu)。LAYERTEC利用掃描探針顯微鏡(原子力顯微鏡,AFM),其測(cè)量范圍在10納米到1微米之間,用于控制表面粗糙度值低于Sq≤5?的特殊拋光過(guò)程,并可根據(jù)要求提供檢驗(yàn)報(bào)告。...
2.為使試樣溶液與填料有足夠的接觸,溶劑流量不能過(guò)高。3.可由自動(dòng)化儀器完成。自動(dòng)SPE儀由柱架、柱塞泵、儲(chǔ)液槽、管線和試樣處理器組成。...
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