DIN 50451-7 E:2017-02
半導(dǎo)體技術(shù)材料的測(cè)試 液體中痕量元素的測(cè)定 第7部分：ICP-MS測(cè)定高純鹽酸中的31種元素

Testing of materials for semiconductor technology - Determination of traces of elements in liquids - Part 7: Determination of 31 elements in high-purity hydrochloric acid by ICP-MS

被代替

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標(biāo)準(zhǔn)號(hào)

DIN 50451-7 E:2017-02

發(fā)布

2017年

總頁(yè)數(shù)

14頁(yè)

發(fā)布單位

德國(guó)標(biāo)準(zhǔn)化學(xué)會(huì)

替代標(biāo)準(zhǔn)

DIN 50451-7:2017-09

當(dāng)前最新

DIN 50451-7:2018-04

 

 

標(biāo)準(zhǔn)名稱：測(cè)試半導(dǎo)體技術(shù)材料 – 液體中元素的測(cè)定 – 第7部分：高純鹽酸中31種元素的ICP-MS測(cè)定

適用范圍：該標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了使用電感耦合等離子體質(zhì)譜法（ICP-MS）測(cè)定半導(dǎo)體技術(shù)中重要元素在高純鹽酸中的含量的方法，適用于金屬雜質(zhì)質(zhì)量分?jǐn)?shù)從100 ng/kg到10,000 ng/kg的檢測(cè)。此外，蒸干方法也可應(yīng)用于其他可蒸發(fā)液體。

該標(biāo)準(zhǔn)包括以下內(nèi)容：應(yīng)用范圍、規(guī)范性引用文件、術(shù)語(yǔ)和定義、單位、簡(jiǎn)要描述的方法、試劑、儀器和清洗、樣品采集與制備、零點(diǎn)溶液和盲樣制備、操作、計(jì)算和結(jié)果報(bào)告、方法的精密度和正確性以及檢查報(bào)告等章節(jié)。

本標(biāo)準(zhǔn)由德國(guó)標(biāo)準(zhǔn)化協(xié)會(huì)（DIN）材料測(cè)試委員會(huì)制定，旨在為半導(dǎo)體技術(shù)中的材料檢測(cè)提供可靠的方法。此標(biāo)準(zhǔn)適用于在微克/千克至納克/千克范圍內(nèi)的元素測(cè)定，并強(qiáng)調(diào)了對(duì)相關(guān)專利權(quán)和文檔的支持。

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