GB/T 1555-1997
半導(dǎo)體單晶晶向測定方法
Test methods for determining the orientation of a semiconductor single crystal
GBT1555-1997, GB1555-1997
2010-06
- 標準號
- GB/T 1555-1997
- 別名
- GBT1555-1997, GB1555-1997
- 發(fā)布
- 1997年
- 總頁數(shù)
- 8頁
- 發(fā)布單位
- 國家質(zhì)檢總局
- 替代標準
- GB/T 1555-2009
- 當前最新
- GB/T 1555-2023
- 適用范圍
- 本標準規(guī)定了半導(dǎo)體單晶晶向X射線衍射定向和光圖定向的方法。 本標準適用于測定半導(dǎo)體單晶材料大致平行于低指數(shù)原子面的晶體的表面取向。 本標準包括兩種試驗方法： 方法A X射線衍射定向法。該方法可用于所有半導(dǎo)體單晶的定向。 方法B 光圖定向法。該方法目前用于單一元素半導(dǎo)體單晶的定向。