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GB/T 20522-2006
半導體器件 第14-3部分:半導體傳感器 壓力傳感器

Semiconductor devices. Part 14-3: Semiconductor sensors. Pressure sensors

GBT20522-2006, GB20522-2006


標準號
GB/T 20522-2006
別名
GBT20522-2006, GB20522-2006
發(fā)布
2006年
總頁數(shù)
13頁
發(fā)布單位
國家質(zhì)檢總局
當前最新
GB/T 20522-2006
 
 
引用標準
GB/T 17573-1998 GB/T 20521-2006
適用范圍
本標準規(guī)定了測量絕壓、表壓和差壓的半導體傳感器的要求。
術(shù)語描述
半導體壓力傳感器
semiconductor pressure sensors
將兩個壓力之間的差轉(zhuǎn)為電輸出量,其中一個可能是參考壓力。
壓電式傳感
piezoelectric sensing
基于壓電材料受應(yīng)力產(chǎn)生電荷并放大轉(zhuǎn)化為電壓的原理。
壓阻式傳感
piezoresistive sensing
敏感電阻受應(yīng)力作用發(fā)生形變導致阻值變化的原理。

GB/T 20522-2006 中提到的儀器設(shè)備

橋式應(yīng)變計
由四個合適取向的電阻構(gòu)成,用于測量壓力變化。
橫向電壓應(yīng)變計
膜片上的單電阻單元,兩端有抽頭,用于輸出電壓差。

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