ASTM F1398-93(2005)
按氣體分配系統(tǒng)成分測定總烴的測試方法

Standard Test Method for Determination of Total Hydrocarbon Contribution by Gas Distribution System Components

被代替

標(biāo)準(zhǔn)號

ASTM F1398-93(2005)

發(fā)布

1993年

總頁數(shù)

10頁

發(fā)布單位

美國材料與試驗協(xié)會

替代標(biāo)準(zhǔn)

ASTM F1398-93(2012)

當(dāng)前最新

ASTM F1398-93(2020)

 

 

適用范圍

該測試方法的目的是定義測試考慮安裝到高純度氣體分配系統(tǒng)中的組件的程序。應(yīng)用此測試方法預(yù)計會在用于鑒定此安裝的組件之間產(chǎn)生可比較的數(shù)據(jù)。
1.1 此測試方法涵蓋在環(huán)境溫度下測試組件對氣體分配系統(tǒng)的總碳?xì)浠衔?(THC) 貢獻(xiàn)。此外，該測試方法允許在高達(dá) 70176C 的環(huán)境溫度下測試組件。
1.2 本測試方法適用于含有氣態(tài)電子級材料的在線組件，例如半導(dǎo)體氣體分配系統(tǒng)中使用的組件。
1.3 局限性：
1.3.1 該測試方法受到當(dāng)前儀器靈敏度以及儀器響應(yīng)時間的限制。該測試方法不適用于標(biāo)稱外徑大于 12.7 毫米（1/2 英寸）的部件。該測試方法可適用于較大的部件；然而，規(guī)定的體積流量可能無法提供充分的混合以確保樣品具有代表性。較高的流速可以改善混合，但會過度稀釋樣品。
1.3.2 不同的儀器方法（例如氫火焰離子化檢測器（FID）、質(zhì)譜儀（MS））由于對不同分子種類的靈敏度不同，所得出的總碳?xì)浠衔铮═HC）水平無法進(jìn)行比較。高純度氣體分配系統(tǒng)的碳?xì)浠衔镂廴疚锟煞譃閮纱箢悾?1) 不可凝結(jié)碳?xì)浠衔?(lt;C4)，由于去除困難和相對大氣豐度而存在；(2) 可凝結(jié)碳?xì)浠衔?，即通常作為殘留物留在部件表面?？赡Y(jié)碳?xì)浠衔锇ū糜汀⒚撝瑒┖蛼伖鈩?br>1.3.3 由于碳?xì)浠衔锓N類差異巨大，建議僅在使用相同檢測方法收集的數(shù)據(jù)之間進(jìn)行直接比較。
1.3.4 本測試方法適合具有相當(dāng)于六個月經(jīng)驗水平的設(shè)備使用理解的操作員使用。
1.4 以 SI 單位表示的數(shù)值應(yīng)被視為標(biāo)準(zhǔn)。括號中給出的英寸-磅單位僅供參考。
1.5 本標(biāo)準(zhǔn)并不旨在解決與其使用相關(guān)的所有安全問題（如果有）。本標(biāo)準(zhǔn)的使用者有責(zé)任在使用前建立適當(dāng)?shù)陌踩徒】祵嵺`并確定監(jiān)管限制的適用性。具體危險說明見第 6 節(jié)。

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