ICP-MS可適用于ppt級的元素和亞ppt級的元素分析，因此常用于半導(dǎo)體行業(yè)，分析超痕量的雜質(zhì)。如下介紹主要的影響因素。儀器運行環(huán)境半導(dǎo)體設(shè)備中出現(xiàn)污染，會使產(chǎn)品性能惡化。堿金屬、堿土金屬造成的污染降低擊穿電壓，過渡金屬造成的污染縮短載流子壽命，增加暗電流。因此必須控制污染。但是，這些污染存在于...
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