GB/T 29852-2013
光伏電池用硅材料中P、As、Sb施主雜質(zhì)含量的二次離子質(zhì)譜測量方法
Test method for measuring phosphorus, arsenic and antimony in silicon materials used for photovoltaic applications by secondary ion mass spectrometry
GBT29852-2013, GB29852-2013
- 標(biāo)準(zhǔn)號
- GB/T 29852-2013
- 別名
- GBT29852-2013, GB29852-2013
- 發(fā)布
- 2013年
- 總頁數(shù)
- 7頁
- 發(fā)布單位
- 國家質(zhì)檢總局
- 當(dāng)前最新
- GB/T 29852-2013
- 適用范圍
- 本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了用二次離子質(zhì)譜儀(SIMS)測定光伏電池用硅材料中磷、砷和銻含量的方法。本標(biāo)準(zhǔn)適用于光伏電池用硅材料中施主雜質(zhì)磷、砷和銻含量的定量分析,其中磷、砷和銻的濃度均大于 1×1014atoms/cm3。
| 術(shù)語 | 描述 |
|---|---|
| 二次離子質(zhì)譬儀(SIMS) Secondary Ion Mass Spectrometer (SIMS) | 一種用于表面分析的精密儀器，通過檢測二次離子來確定樣品的組成。 |
GB/T 29852-2013 中提到的儀器設(shè)備
| 扇形磁場二次離子質(zhì)譜儀 能檢測負(fù)二次離子的電子倍增器和法拉第杯檢測器，質(zhì)量分辨率優(yōu)于4000。 | 用于高真空條件下的樣品分析，具有高靈敏度。 |
| 液氮或者液氨冷卻裝置 | 保持分析室的低溫環(huán)境，減少背景干擾。 |