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GB/T 36176-2018
真空技術 氦質譜真空檢漏方法

Vacuum technology.Vacuum leak testing method by helium mass spectrometer

GBT36176-2018, GB36176-2018


標準號
GB/T 36176-2018
別名
GBT36176-2018, GB36176-2018
發(fā)布
2018年
總頁數
16頁
發(fā)布單位
國家質檢總局
當前最新
GB/T 36176-2018
 
 
引用標準
GB/T 12604.7 GB/T 13979 GB/T 3163 GB/T 4844 GB/T 9445
適用范圍
本標準規(guī)定了氦質譜真空檢漏方法實施的一般要求,三種常用的氦質譜真空檢漏方法在應用對象、系統(tǒng)組成、檢漏程序等方面的要求以及對檢漏文件的要求。 本標準適用于各行業(yè)中采用氦質譜真空檢漏方法的部件、組件、分系統(tǒng)級以及系統(tǒng)級產品。
術語描述
等待時間
waiting time
兩次測試的間隔時間。
檢漏靈敏度
leaktestingsensitivity
在具體的工作條件下,檢漏系統(tǒng)所能檢出的最小漏孔漏率。
噴吹法
sprayprobe method
用噴槍噴出已知濃度的氮氣束在被檢件的表面掃描進行的氮質譜檢漏方法。
氫罩法
heliumhoodmethod
將被檢件部分或全部罩住,罩內充入已知濃度的氮氣進行的氮質譜檢漏方法。
壓力-真空檢漏法
pressure-vacuum chamber method
將充入氮氣的被檢件放入真空室內抽至規(guī)定的真空度,在壓差作用下,氮氣通過漏點進入真空室而被檢漏儀測試的方法。
吸槍法
sniffing probe method
被檢件充入一定壓力的氮氣,用與氮質譜檢漏儀相連的吸槍嗅探被檢件表面漏出氮氣的方法。

GB/T 36176-2018 中提到的儀器設備

真空泵 用于抽取真空以創(chuàng)建低壓力環(huán)境的設備。
噴槍 用于在被檢件表面噴吹已知濃度氮氣的工具。
氨質譜檢漏儀 用于檢測真空系統(tǒng)中泄漏的設備,基于質譜分析技術。

其他標準


專題


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