BS ISO 22581:2021
表面化學分析來自X射線光電子能譜測量掃描的近實時信息含碳化合物表面污染的識別和校正規(guī)則

Surface chemical analysis. Near real-time information from the X-ray photoelectron spectroscopy survey scan. Rules for identification of, and correction for, surface contamination by carbon-containing compounds

適用范圍: 本文件旨在協(xié)助對不認為含有碳化合物作為預期成分但在調查光譜中觀察到C1s峰的材料上的薄膜進行表面分析。薄膜可以是通過有氧或電化學氧化在金屬和合金上生成的薄膜，也可以是沉積在惰性基底上的薄膜。所描述的程序不適用于基底上不連續(xù)沉積的顆粒。除這一例外情況外，提供了一個簡單的程序來識別來自含碳表面污染的C1s信號。當C1s峰被識別為來自偶然的覆蓋層時，可以從調查光譜中校正其影響。推薦程序以簡單的“如果-那么”格式結構化的規(guī)則形式提供，目的是它們所包含的信息可能被數(shù)據(jù)系統(tǒng)中的自動化程序利用。提供的規(guī)則僅利用從XPS調查掃描中檢索到的信息。

術語	描述
區(qū)域 region	為在詳細（即“窄”）掃描中獲取而選擇的完全可訪問的光激發(fā)光譜的一部分。
調查掃描 survey scan	由給定X射線源激發(fā)的光電子光譜主要部分的掃描或一系列掃描。
目標 goal	作為光譜解釋過程一部分的目標的實現(xiàn)。