ISO 18516:2019
表面化學(xué)分析.納米到微米范圍內(nèi)束基方法橫向分辨率和銳度的測定
Surface chemical analysis — Determination of lateral resolution and sharpness in beam based methods with a range from nanometres to micrometres
- 標(biāo)準(zhǔn)號
- ISO 18516:2019
- 發(fā)布
- 2019年
- 總頁數(shù)
- 60頁
- 發(fā)布單位
- 國際標(biāo)準(zhǔn)化組織
- 當(dāng)前最新
- ISO 18516:2019
- 引用標(biāo)準(zhǔn)
- ISO 16242:2011 ISO 16243:2011
- 適用范圍
- 本文件描述了在成像表面化學(xué)分析中測量橫向分辨率和清晰度的方法。 它適用于在儀器的定義設(shè)置下使用光束分析表面化學(xué)成分的所有表面分析方法。 它適用于掃描儀器，其中精細(xì)聚焦的光束在預(yù)先選定的視場中掃描樣品，也適用于全視場成像儀器，其中視場同時(shí)由寬光束、成像透鏡系統(tǒng)和像素化探測器。 測量橫向分辨率和清晰度的方法是——直尺法； ——窄線法； ——光柵法。 本文件適用于提供納米厚度層以及納米尺寸結(jié)構(gòu)和單個(gè)納米物體表面信息的儀器和方法。
| 術(shù)語 | 描述 |
|---|---|
| 邊緣擴(kuò)展函數(shù) (ESF) edge spread function | 成像系統(tǒng)線性化輸出中理論無限銳利邊緣的歸一化空間信號分布。 |
| 有效橫向分辨率 effective lateral resolution | 最小間距，使得圖像中的兩個(gè)特征可以被識別為彼此獨(dú)立且分離。該分辨率不僅由成像儀器決定，還受到圖像數(shù)據(jù)噪聲的影響。 |
| 線擴(kuò)展函數(shù) (LSF) line spread function | 成像系統(tǒng)線性化輸出中理論無限薄線條的歸一化空間信號分布。 |
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專題
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