ISO 18516:2019
表面化學(xué)分析.納米到微米范圍內(nèi)束基方法橫向分辨率和銳度的測定

Surface chemical analysis — Determination of lateral resolution and sharpness in beam based methods with a range from nanometres to micrometres

ISO 18516:2019 發(fā)布?xì)v史

ISO 18516:2019由國際標(biāo)準(zhǔn)化組織 IX-ISO 發(fā)布于 2019-01-14。

ISO 18516:2019在國際標(biāo)準(zhǔn)分類中歸屬于: 71.040.40 化學(xué)分析。

ISO 18516:2019 表面化學(xué)分析.納米到微米范圍內(nèi)束基方法橫向分辨率和銳度的測定的最新版本是哪一版？

最新版本是 ISO 18516:2019 。

ISO 18516:2019 發(fā)布之時，引用了標(biāo)準(zhǔn)

• ISO 16242:2011 表面化學(xué)分析.俄歇電子能譜術(shù)(AES)的記錄和報告數(shù)據(jù)
• ISO 16243:2011 表面化學(xué)分析.X射線光電子能譜術(shù)(XPS)的記錄和報告數(shù)據(jù)

ISO 18516:2019的歷代版本如下：

• 2019年 ISO 18516:2019 表面化學(xué)分析.納米到微米范圍內(nèi)束基方法橫向分辨率和銳度的測定
• 2006年 ISO 18516:2006 表面化學(xué)分析.俄歇電子光譜法和X射線光電子光譜法.橫向分辨率測定

本文件描述了在成像表面化學(xué)分析中測量橫向分辨率和清晰度的方法。 它適用于在儀器的定義設(shè)置下使用光束分析表面化學(xué)成分的所有表面分析方法。 它適用于掃描儀器，其中精細(xì)聚焦的光束在預(yù)先選定的視場中掃描樣品，也適用于全視場成像儀器，其中視場同時由寬光束、成像透鏡系統(tǒng)和像素化探測器。 測量橫向分辨率和清晰度的方法是——直尺法； 　——窄線法； 　——光柵法。 本文件適用于提供納米厚度層以及納米尺寸結(jié)構(gòu)和單個納米物體表面信息的儀器和方法。

采用 ISO 18516 的發(fā)行版本有：

• BS ISO 18516:2006 表面化學(xué)分析.俄歇電子光譜法和X射線光電子光譜法.橫向分辨率測定
• BS ISO 18516:2006(2010) 表面化學(xué)分析 俄歇電子能譜和X射線光電子能譜 橫向分辨率的測定
• DIN ISO 18516:2020 表面化學(xué)分析. 基于方法的光束中橫向分辨率和清晰度的測定(范圍從納米至微米)(ISO 18516-2019); 英文文本
• DIN ISO 18516:2020-11 表面化學(xué)分析 采用基于光束的方法測定橫向分辨率和清晰度 范圍從納米到微米

標(biāo)準(zhǔn)號

ISO 18516:2019

發(fā)布

2019年

總頁數(shù)

60頁

發(fā)布單位

國際標(biāo)準(zhǔn)化組織

當(dāng)前最新

ISO 18516:2019

 

 

引用標(biāo)準(zhǔn)

ISO 16242:2011 ISO 16243:2011

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