BS ISO 18516:2006(2010)
表面化學(xué)分析 俄歇電子能譜和X射線光電子能譜 橫向分辨率的測定
Surface chemical analysis — Auger electron spectroscopy and X - ray photoelectron spectroscopy — Determination of lateral resolution
- 標(biāo)準(zhǔn)號(hào)
- BS ISO 18516:2006(2010)
- 發(fā)布
- 2010年
- 總頁數(shù)
- 34頁
- 發(fā)布單位
- 英國標(biāo)準(zhǔn)學(xué)會(huì)
- 當(dāng)前最新
- BS ISO 18516:2006(2010)
-
BS ISO 18516:2006
表面化學(xué)分析——Auger電子能譜和X射線光電子能譜橫向分辨率的測定
本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了使用Auger電子能譜（AES）和X射線光電子能譜（XPS）技術(shù)測定表面分析儀器橫向分辨率的方法。適用于涉及表面化學(xué)分析、材料科學(xué)以及電子顯微鏡等領(lǐng)域中需要評(píng)估和測量儀器橫向分辨率的場合。