GB/T 35049-2018
真空技術(shù) 四極質(zhì)譜檢漏方法
Vacuum technology—Leak testing method by quadrupole mass spectrometer
GBT35049-2018, GB35049-2018
- 標準號
- GB/T 35049-2018
- 別名
- GBT35049-2018, GB35049-2018
- 發(fā)布
- 2018年
- 總頁數(shù)
- 27頁
- 發(fā)布單位
- 國家質(zhì)檢總局
- 當前最新
- GB/T 35049-2018
- 引用標準
- GB/T 12604.7 GB/T 13966 GB/T 9445
- 本體
- 示蹤氣體
- 適用范圍
- 本標準規(guī)定了四種常用的四極質(zhì)譜檢漏方法實施的一般要求，每種檢漏方法在應(yīng)用對象、系統(tǒng)組成、檢漏程序等方面的要求以及對檢漏文件的要求。 本標準適用于真空行業(yè)以及其他行業(yè)中采用四極質(zhì)譜儀進行的泄漏檢測工作，適用于部組件級、分系統(tǒng)級以及系統(tǒng)級產(chǎn)品的密封性能測試。
| 術(shù)語 | 描述 |
|---|---|
| 響應(yīng)時間 response time | 從示蹤氣體施加到漏孔進氣端開始，到質(zhì)譜儀輸出指示(扣除本底值)達到最大變化值的63%時所經(jīng)歷的時間。單位為秒(s)。 |
| 清除時間 clear-up time | 從漏孔進氣端停止施加示蹤氣體開始，到四極質(zhì)譜儀輸出指示值下降至施加示蹤氣體時的最大漏氣信號值的37%時所經(jīng)歷的時間。 |
| 校準漏孔 standard leak | 在規(guī)定條件(溫度、壓力)下，對一種規(guī)定氣體提供已知流量的一種校準用漏孔。 |
GB/T 35049-2018 中提到的儀器設(shè)備
| 噴槍 | 用噴槍噴出已知濃度的示蹤氣體束在被檢件表面掃描進行檢漏的方法。 |
| 四極質(zhì)譜儀 | 用于檢測和分析氣體成分的儀器，能夠分辨兩相鄰峰的能力（質(zhì)量數(shù)與峰高10%處的峰寬之比）不小于1。 |
專題
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