GSO ISO 18516:2013
表面化學(xué)分析俄歇電子能譜和X射線光電子能譜橫向分辨率的測定

Surface chemical analysis -- Auger electron spectroscopy and X-ray photoelectron spectroscopy -- Determination of lateral resolution

標(biāo)準(zhǔn)號(hào)

GSO ISO 18516:2013

發(fā)布

2013年

發(fā)布單位

海灣阿拉伯國家合作委員會(huì)標(biāo)準(zhǔn)組織

當(dāng)前最新

GSO ISO 18516:2013

 

 

適用范圍

本國際標(biāo)準(zhǔn)描述了在規(guī)定設(shè)置下測量俄歇電子能譜儀和 X 射線光電子能譜儀可實(shí)現(xiàn)的橫向分辨率的三種方法。直尺法適用于橫向分辨率預(yù)計(jì)大于 1 μm 的儀器。如果橫向分辨率預(yù)計(jì)小于 1 μm 但大于 20 nm，則網(wǎng)格法適用。金島法適用于橫向分辨率預(yù)計(jì)小于 50 nm 的儀器。附件 A、B 和 C 提供了橫向分辨率測量的說明性示例。

專題

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