低氣壓試驗(yàn) Low pressure test | 測(cè)定半導(dǎo)體器件在低氣壓環(huán)境下避免電擊穿失效的能力的試驗(yàn)方法。 |
半導(dǎo)體器件 Semiconductor devices | 由半導(dǎo)體材料制成的電子元件,用于多種電子設(shè)備中。 |
電擊穿失效 Electrical breakdown failure | 由于絕緣強(qiáng)度減弱導(dǎo)致的器件失效現(xiàn)象。 |
真空泵 | 用于抽氣以模擬低氣壓環(huán)境的設(shè)備。 |
密封室 (必要時(shí)可帶觀察樣品裝置) | 用于放置和固定被測(cè)試件的密閉空間,需在試驗(yàn)期間保持規(guī)定的氣壓。 |
氣壓表 | 測(cè)量密封室內(nèi)模擬高度的氣壓值的儀表。 |
微安表或示波器 直流到30 MHz | 用于在試驗(yàn)過程中監(jiān)測(cè)器件電流變化情況的設(shè)備。 |
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