JIS K 0145:2002
表面化學(xué)分析.X射線光電子分光計.能量刻度的校準(zhǔn)

Surface chemical analysis -- X-ray photoelectron spectrometers -- Calibration of energy scales

適用范圍: 本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了用于正常分析目的時以非單色Al、Mg和單色Al作為激發(fā)X射線源的X射線光電子能譜儀的結(jié)合能軸刻度的校準(zhǔn)方法。本標(biāo)準(zhǔn)僅對配備有能夠?yàn)R射清洗測量樣品的離子槍的設(shè)備有效。此外，本標(biāo)準(zhǔn)還描述了確定何時進(jìn)行校準(zhǔn)以檢查結(jié)合能軸標(biāo)尺線性度的方法，以及通過檢查標(biāo)尺在給定介質(zhì)中某一能量下的線性度來確定校準(zhǔn)值的方法。范圍。我們校準(zhǔn)了某些高結(jié)合能值和低結(jié)合能尺度值的不確定性，從而定義了允許我們糾正小變化的不確定性，并以 95% 的置信限校準(zhǔn)結(jié)合能軸尺度的擴(kuò)展不確定性。第二個不確定性范圍包括機(jī)構(gòu)間的不確定性，但不包括光譜設(shè)備中出現(xiàn)的所有缺陷。此外，本標(biāo)準(zhǔn)還規(guī)定，在以下情況下，當(dāng)能量標(biāo)度明顯失去線性時，在小于10的恒定能量抑制比下測量時，光譜儀的能量分辨率小于1.5 eV。在最壞的情況下，不能當(dāng)需要±0.03eV或更小的值作為容差范圍時應(yīng)用。本標(biāo)準(zhǔn)并未對所有可能的能量點(diǎn)的能量軸刻度進(jìn)行校準(zhǔn)，此類校準(zhǔn)應(yīng)根據(jù)設(shè)備制造商的建議進(jìn)行。