ASTM F1723-96
用浮區(qū)晶體增長和光譜法評估多晶硅竿材的標(biāo)準(zhǔn)實(shí)施規(guī)范
Standard Practice for Evaluation of Polycrystalline Silicon Rods by Float-Zone Crystal Growth and Spectroscopy
ASTM F1723-96 發(fā)布?xì)v史
ASTM F1723-96由美國材料與試驗(yàn)協(xié)會(huì) US-ASTM 發(fā)布于 1996。
ASTM F1723-96 在中國標(biāo)準(zhǔn)分類中歸屬于: L10 電子元件綜合。
ASTM F1723-96 用浮區(qū)晶體增長和光譜法評估多晶硅竿材的標(biāo)準(zhǔn)實(shí)施規(guī)范的最新版本是哪一版？
最新版本是 ASTM F1723-02 。
ASTM F1723-96 發(fā)布之時(shí)，引用了標(biāo)準(zhǔn)
- ASTM D5127 電子學(xué)和半導(dǎo)體工業(yè)用超純水的標(biāo)準(zhǔn)指南*， 1999-01-26 更新
- ASTM F1241 半導(dǎo)體級硅技術(shù)和專業(yè)詞匯
- ASTM F1389 單晶硅中III-V雜質(zhì)的光致發(fā)光分析試驗(yàn)方法*， 2000-08-01 更新
- ASTM F1391 紅外吸收法測定硅中置換碳含量的標(biāo)準(zhǔn)試驗(yàn)方法*， 2025-01-26 更新
- ASTM F1630 低溫傅里葉變換紅外分析方法測定單晶硅中 III-V 雜質(zhì)濃度*， 2000-12-10 更新
- ASTM F26 用于確定半導(dǎo)體單晶體取向的標(biāo)準(zhǔn)試驗(yàn)方法
- ASTM F397 用兩點(diǎn)探針測定硅棒電阻率的標(biāo)準(zhǔn)試驗(yàn)方法
- ASTM F47 晶硅晶體缺陷檢測方法
- ASTM F723 半導(dǎo)體材料電阻率與摻雜濃度之間轉(zhuǎn)換的標(biāo)準(zhǔn)方法
* 在 ASTM F1723-96 發(fā)布之后有更新，請注意新發(fā)布標(biāo)準(zhǔn)的變化。
ASTM F1723-96的歷代版本如下：
- 2002年 ASTM F1723-02 單晶硅棒通過漂浮區(qū)晶體生長和光譜學(xué)方法進(jìn)行多晶硅棒評估的標(biāo)準(zhǔn)實(shí)踐
- 1996年 ASTM F1723-96 用浮區(qū)晶體增長和光譜法評估多晶硅竿材的標(biāo)準(zhǔn)實(shí)施規(guī)范
1.1 本實(shí)踐推薦了對多晶硅棒進(jìn)行取樣并通過浮區(qū)技術(shù)從這些樣品中生長單晶的程序。通過分光光度法分析所得單晶錠，以確定多晶硅中的痕量雜質(zhì)。這些痕量雜質(zhì)是受主（通常是硼或鋁，或兩者）、施主（通常是磷或砷，或兩者）和碳雜質(zhì)。
1.2 本實(shí)踐涵蓋的雜質(zhì)濃度的有用范圍是 0.002 至 100 份/十億原子（ ppba) 用于受體和供體雜質(zhì)，0.05 至 5 份/百萬原子 (ppma) 用于碳雜質(zhì)。通過紅外或光致發(fā)光光譜分析錠樣品中的這些雜質(zhì)。
1.3 本做法僅適用于評估通過利用細(xì)硅棒（硅絲）沉積多晶硅的方法生長的多晶硅錠。
1.4 本做法使用熱酸蝕刻掉多晶硅棒的表面。蝕刻劑具有潛在危害，必須始終在酸性排氣通風(fēng)柜中極其小心地處理。氫氟酸溶液尤其危險(xiǎn)，不熟悉相應(yīng)材料安全數(shù)據(jù)表中給出的具體預(yù)防措施和急救處理的任何人不應(yīng)使用。
1.5 本標(biāo)準(zhǔn)并不旨在解決所有安全問題，如果任何與其使用相關(guān)的。本標(biāo)準(zhǔn)的使用者有責(zé)任在使用前建立適當(dāng)?shù)陌踩徒】祵?shí)踐并確定監(jiān)管限制的適用性。
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- 標(biāo)準(zhǔn)號(hào)
- ASTM F1723-96
中文首頁 - 發(fā)布
- 1996年
- 總頁數(shù)
- 9頁
- 發(fā)布單位
- 美國材料與試驗(yàn)協(xié)會(huì)
- 替代標(biāo)準(zhǔn)
- ASTM F1723-02
- 當(dāng)前最新
- ASTM F1723-02
- 引用標(biāo)準(zhǔn)
- ASTM D5127 ASTM F1241 ASTM F1389 ASTM F1391 ASTM F1630 ASTM F26 ASTM F397 ASTM F47 ASTM F723