BS ISO 18114:2003
表面化學(xué)分析.次級離子質(zhì)譜法.測定離子注入標(biāo)樣的相對靈敏系數(shù)
Surface chemical analysis - Secondary-ion mass spectrometry - Determination of relative sensitivity factors from ion-implanted reference materials
2021-06
BS ISO 18114:2003 中，可能用到以下儀器
- 標(biāo)準(zhǔn)號
- BS ISO 18114:2003
- 發(fā)布
- 2003年
- 發(fā)布單位
- 英國標(biāo)準(zhǔn)學(xué)會
- 替代標(biāo)準(zhǔn)
- BS ISO 18114:2021
- 當(dāng)前最新
- BS ISO 18114:2021
- 被代替標(biāo)準(zhǔn)
- 02/122922 DC:2002
本國際標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了從離子注入?yún)⒖疾牧现写_定二次離子質(zhì)譜（SIMS）相對靈敏度因子（RSF）的方法。該方法適用于基體化學(xué)成分均勻、注入物質(zhì)峰值濃度不超過1個(gè)原子百分比的樣品。
專題
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