BS ISO 18114:2003
表面化學分析.次級離子質譜法.測定離子注入標樣的相對靈敏系數(shù)

Surface chemical analysis - Secondary-ion mass spectrometry - Determination of relative sensitivity factors from ion-implanted reference materials

被代替

標準號

BS ISO 18114:2003

發(fā)布

2003年

總頁數(shù)

14頁

發(fā)布單位

英國標準學會

替代標準

BS ISO 18114:2021

當前最新

BS ISO 18114:2021

 

 

被代替標準

02/122922 DC:2002

適用范圍

本國際標準規(guī)定了從離子注入?yún)⒖疾牧现写_定二次離子質譜（SIMS）相對靈敏度因子（RSF）的方法。該方法適用于基體化學成分均勻、注入物質峰值濃度不超過1個原子百分比的樣品。

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專題

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